SEMI E47 - 150mm/200mm 포드 핸들 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 사양은 포드 핸들을 자동으로 처리할 수 있도록 포드 핸들의 통합된 형태와 위치를 제공합니다.

이 사양은 150mm/200mm 포드의 핸들 치수 및 위치를 정의합니다. 이들은 자동 처리를 제공하고 수동 처리를 고려합니다. 개별 수동 핸들의 디자인은 표준의 치수 제한 내에서 달성할 수 있도록 개방되어 있습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E19.3 — 150mm SMIF(표준 기계 인터페이스)

SEMI E19.4 - 200mm SMIF(표준 기계 인터페이스)

SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송하고 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드의 기계적 사양

SEMI T4 — 150mm 및 200mm 포드 식별 치수 사양

개정 내역

SEMI E47-0301(재승인 0512)

SEMI E47-0301(재승인 1106)

SEMI E47-0301(기술 개정)

SEMI E47-95(재승인 1000)

SEMI E47-95(최초 발행)

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.