SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

E01600 - SEMI E16 - 질량 흐름 컨트롤러 누설률 결정 및 설명을 위한 가이드
SEMI E16 - 질량 흐름 컨트롤러 누설률 결정 및 설명을 위한 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E01700 - SEMI E17 - 질량 흐름 컨트롤러 과도 특성 테스트 가이드
SEMI E17 - 질량 흐름 컨트롤러 과도 특성 테스트 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E01800 - SEMI E18 - 질량 유량 컨트롤러의 온도 사양 가이드
SEMI E18 - 질량 유량 컨트롤러의 온도 사양 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E01900 - SEMI E19 - SMIF(Standard Mechanical Interface) 사양
SEMI E19 - SMIF(Standard Mechanical Interface) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E01904 - SEMI E19.4 - 200mm 표준 기계 인터페이스(SMIF) 사양
SEMI E19.4 - 200mm 표준 기계 인터페이스(SMIF) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E01905 - SEMI E19.5 - 300mm 하단 개방 표준 기계 인터페이스(SMIF) 사양
SEMI E19.5 - 300mm 하단 개방 표준 기계 인터페이스(SMIF) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E02000 - SEMI E20 - 클러스터 툴 모듈 인터페이스: 전력 및 비상 정지 표준
E02100 - SEMI E21 - 클러스터 툴 모듈 인터페이스 사양: 기계적 인터페이스 및 웨이퍼 이송
E02200 - SEMI E22 - 클러스터 툴 모듈 인터페이스 사양: 전송 모듈 엔드 이펙터 제외 볼륨
E02300 - SEMI E23 - 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E23 - 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E02400 - SEMI E24 - Cluster Tool Module Interface: Isolation Valve Interlocks Standard
SEMI E24 - Cluster Tool Module Interface: Isolation Valve Interlocks Standard 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E02600 - SEMI E26 - 방사형 클러스터 도구 풋프린트 표준
SEMI E26 - 방사형 클러스터 도구 풋프린트 표준 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E02700 - SEMI E27 - 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계 선형성 가이드
SEMI E27 - 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계 선형성 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E02800 - SEMI E28 - 질량 유량 컨트롤러의 압력 사양 가이드
SEMI E28 - 질량 유량 컨트롤러의 압력 사양 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E02900 - SEMI E29 - 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계 교정용 용어
SEMI E29 - 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계 교정용 용어 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
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