SEMI E19.5 - 300mm 하단 개방 표준 기계 인터페이스(SMIF) 사양 -

개정: SEMI E19.5-0996(철회 1103) - 철회

개정

Abstract

참고: SEMI E19.5는 더 이상 SEMI E19 표준 제품군 내에 게시되지 않습니다. 이 페이지에서 별도로 게시 및 판매됩니다.

 

알림: 이 문서는 2003년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.

 

이 표준은 포함된 웨이퍼의 운송 환경을 제어하기 위한 컨테이너의 표준 인터페이스를 지정합니다. 인터페이스는 미립자 및 비미립자 오염을 제어하기 위해 재료 이송을 위한 적절한 용기 방향을 다루고 용기와 장비 환경 사이의 연속성을 유지해야 합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트에 대한 임시 사양

Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

Customer Reviews

Be the first to write a review
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)

You May also Like