SEMI E10 - 장비 신뢰성, 가용성, 유지보수성(RAM) 및 활용도의 정의 및 측정을 위한 사양 -

Abstract

이 사양은 제조 환경에서 장비의 안정성, 가용성 및 유지 관리(RAM) 및 활용 성능을 측정하기 위한 표준화된 방법론을 제공합니다. 장비 모듈, 비클러스터 도구, 단일 및 다중 경로 클러스터 도구 등을 포함하는 모든 장비 시스템에 적용됩니다. SEMI E10은 표준 측정 방법, 용어 및 계산을 확립함으로써 사용자와 공급자 간의 의사 소통을 향상시키고 반도체 및 관련 산업의 제조 능력을 향상시킵니다.

이 사양은 제조 환경에서 장비의 신뢰성, 가용성 및 유지 관리(RAM) 및 활용 성능을 측정하기 위한 표준화된 방법론을 제공함으로써 반도체 및 관련 산업에서 제조 장비의 사용자와 공급업체 간의 통신을 위한 공통 기반을 설정합니다.

이 사양은 관찰 기간 동안 장비 시스템의 모든 조건 및 관련 기간에 대해 6개의 상호 배타적인 기본 장비 상태를 정의합니다. 예약되지 않은 중단 시간 상태(UDT)라는 장비 상태는 장비 시스템에 대한 '실패' 조건을 정의합니다. 이 사양의 장비 시스템 신뢰성 측정은 장비 시스템 고장과 장비 시스템 사용 사이의 관계에 집중합니다.

여기에 정의된 모든 메트릭은 하위 시스템, 비클러스터 도구, SPCT(단일 경로 클러스터 도구), MPCT(다중 경로 클러스터 도구) 내의 장비 모듈, 장비 모듈의 의도된 프로세스 세트(IPS) 및 MPCT를 포함하는 장비 시스템에 적용할 수 있습니다. 이 사양은 먼저 IPS의 성능을 장비 모듈 수준 성능의 함수로 정의한 다음 MPCT 성능을 IPS 성능의 함수로 정의하여 MPCT에 대한 RAM 및 사용률 측정 처리를 정의합니다. 제시된 각 메트릭에 대해 IPS 및 MPCT에 필요한 특수 처리가 정의됩니다.

이 사양은 다음에 대한 기본 메트릭을 정의합니다.

• 신뢰성 — MTBF(Mean Time Between Failures), 평균 고장 사이 주기(MCBF) 및 평균 고장 간 작업(MWBF)을 포함합니다.

• 가용성 — 총 가동 시간, 운영 가동 시간, 장비 의존 가동 시간 및 공급업체 의존 가동 시간을 포함합니다.

• 유지 가능성 - 평균 수리 시간, 예방적 유지 관리(수행) 평균 시간, 평균 오프라인 시간, 총 고장률 및 손상률을 포함합니다.

• 활용률 — 총 활용률 및 운영 활용률을 포함합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양

SEMI E35 — 반도체 제조 장비의 소유 비용(COO) 메트릭 계산 가이드

SEMI E58 — ARAMS(Automated Reliability, Availability, and Maintenanceability Standard): 개념, 동작 및 서비스

SEMI E79 — 장비 생산성의 정의 및 측정을 위한 사양

SEMI E116 — 장비 성능 추적 사양

개정 내역

SEMI E10-0422(기술 개정)
SEMI E10-0221(기술 개정)

SEMI E10-0814E(편집 개정)

SEMI E10-0814(전체 재작성)

SEMI E10-0312(전체 재작성)

SEMI E10-0304E(편집 개정)

SEMI E10-0304(기술 개정)

SEMI E10-0701(기술 개정)

SEMI E10-0301(기술개정)

SEMI E10-0600(기술 개정)

SEMI E10-0699E(편집 개정)

SEMI E10-0699(기술 개정)

SEMI E10-0299(기술 개정)

SEMI E10-96(기술 개정)

SEMI E10-92(기술 개정)

SEMI E10-86(최초 발행)

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