SEMI E19.4 - 200mm 표준 기계 인터페이스(SMIF) 사양 -

Abstract

알림: SEMI E19.4는 더 이상 SEMI 내에서 게시되지 않습니다. E19 표준 제품군. 별도로 발행되어 판매됩니다.

기판을 포함하는 카세트의 운송 환경을 제어하기 위한 컨테이너에는 표준 인터페이스가 필요합니다. 인터페이스는 미립자 물질을 제어하기 위해 재료 이송을 위한 적절한 용기 방향을 다루고 용기와 장비 환경 사이의 연속성을 유지해야 합니다.

이 사양은 깨끗한 카세트 운송 상자를 반도체 처리 장비의 깨끗한 환경 하우징 또는 기타 깨끗한 환경에 연결하는 한 가지 접근 방식을 설명합니다. 시스템 개념은 카세트 컨테이너의 도어를 장비 인클로저의 도어에 연결하고 카세트를 카세트와 기판을 외부 오염에 노출시키지 않고 장비.

이 표준을 통합하려면 장비 설계자가 도구 설계에 인터페이스 기능을 포함해야 할 수 있습니다. 이 인터페이스를 통합할 때 열린 카세트 포트 사이의 간격을 고려해야 합니다. 설계자는 이와 관련하여 SEMI E15에서 만든 사양 및 권장 사항을 참조하십시오.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E19 — SMIF(Standard Mechanical Interface) 사양

개정 내역

SEMI E19.4-0417(기술 개정)

SEMI E19.4-0912(기술 개정)

SEMI E19.4-0998E(0709 재승인)

SEMI E19.4-0998E(0703 재승인)

SEMI E19.4-0998E(편집 개정)

SEMI E19.4-0998(기술 개정)

SEMI E19.4-94(기술 개정)

SEMI E19.4-92(최초 발행)

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