SEMI E4 - SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송 사양(SECS-I) -

Abstract

이 표준은 독립적인 제조업체가 서로에 대한 특정 지식 없이도 연결할 수 있는 장비와 호스트를 생산할 수 있는 수단을 제공합니다. 이 표준은 통신 SECS/GEM 메시지가 전송되는 방식을 정의하는 프로토콜 반도체 장비 및 호스트. SEMI E37은 TCP/IP 기반으로 사용되는 반면 통신, SEMI E4는 직렬 기반 통신에 사용됩니다.

이 표준은 독립적인 제조업체가 서로에 대한 특정 지식 없이도 연결할 수 있는 장비 및/또는 호스트를 생산할 수 있는 수단을 제공합니다.

SECS-I 표준은 반도체 공정 장비와 호스트 간의 메시지 교환에 적합한 통신 인터페이스를 정의합니다. 반도체 처리 장비에는 웨이퍼 제조, 웨이퍼 처리, 공정 측정, 조립 및 포장용 장비가 포함됩니다. 호스트는 교환하는 컴퓨터 또는 컴퓨터 네트워크입니다. 제조를 달성하기 위해 장비와 정보. 이 표준 물리적 커넥터, 신호 수준, 데이터 속도에 대한 설명을 포함합니다. 호스트와 호스트 간에 메시지를 교환하는 데 필요한 논리적 프로토콜 직렬 지점 간 데이터 경로를 통해 장비. 이 표준은 정의하지 않습니다. 메시지에 포함된 데이터. 메시지의 의미를 결정해야 합니다. SEMI E5, SEMI 사양과 같은 일부 메시지 내용 표준을 통해 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II).

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양

SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드

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