SEMI E16 - 질량 흐름 컨트롤러 누설률 결정 및 설명을 위한 가이드 -

Abstract

이 가이드의 목적은 질량 흐름 컨트롤러(MFC)의 누설률을 설명하고 측정하기 위한 통일된 전 세계적 수단을 확립하는 것입니다. 가스 전달 시스템의 누출 무결성은 제품 품질과 성능을 유지하는 데 중요합니다. 이 가이드는 제조업체와 사용자 간의 혼란과 오해. 특히, 기계적 누설률과 확산 누설률을 구분합니다.

이 가이드에는 반도체 산업에서 사용되는 MFC의 누설률을 결정하기 위한 용어 정의 및 절차가 포함되어 있습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI E16-0517(기술 개정)

SEMI E16-0611(기술 개정)

SEMI E16-90(재승인 1104)

SEMI E16-90(재승인 0699)

SEMI E16-90(최초 발행)

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