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SEMI E12 - 질량 유량계 및 질량 유량 컨트롤러에 사용되는 표준화된 압력, 온도, 밀도 및 유량 단위에 대한 안내서 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
과거에는 가스 흐름이 '표준' 체적 단위로 표현될 때 표준 온도와 표준 압력의 값에 혼동이 있었습니다. 이러한 혼동을 없애기 위해 Mass Flow 컨트롤러 위원회는 이 표준을 제정했습니다.
이 표준은 제조업체와 사용자 간의 커뮤니케이션을 위한 공통 기반을 제공합니다.
참조 SEMI 표준 (별도 구매)
없음.
개정 내역
SEMI E12-0421(기술 개정)
SEMI E12-1213(기술 개정)
SEMI E12-0303(재승인 0309)
SEMI E12-0303(기술 개정)
SEMI E12-96(기술 개정)
SEMI E12-91(기술 개정)
SEMI E12-86(최초 발행)
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