SEMI E5 - SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양 -

Abstract

SECS-II 메시지 사양이라고도 하는 이 표준은 프로토콜 계층과 함께 작동하여 장비와 호스트 간에 메시지가 전달되는 방식을 정의합니다. 이 표준에 정의된 기능은 IC 제조에 필요한 가장 일반적인 활동을 지원합니다. 다른 SECS/GEM 표준과 함께 SEMI E5는 제조 장비 모니터링 및 제어를 위한 소프트웨어 인터페이스를 정의하는 데 도움이 됩니다.

SEMI 장비 통신 표준 파트 2(SECS-II)는 지능형 장비와 호스트 간에 교환되는 메시지 해석에 대한 세부 사항을 정의합니다. 이 사양은 일본 전자 산업 발전 협회 장비 통신 위원회 12와 협력하여 개발되었습니다.

 

SEMI E4, 장비 통신 표준(SECS-I)과 완전히 호환되는 것이 이 표준의 의도입니다. 또한 대체 메시지 전송 프로토콜과의 호환성을 허용하려는 의도이기도 합니다. 메시지 전송 프로토콜 요구 사항의 세부 사항은 § 6에 포함되어 있습니다.

 

개별 장비에 대한 최소한의 지식만으로 일부 일관된 호스트 소프트웨어를 구성할 수 있는 세부 수준으로 메시지를 정의하는 것이 이 표준의 의도입니다. 장비는 호스트에 대한 최소한의 지식만으로 구성될 수 있습니다.

 

표준에 정의된 메시지는 IC 제조에 필요한 가장 일반적인 활동을 지원합니다. 표준은 또한 표준 메시지에서 다루지 않는 활동을 지원하기 위해 장비별 메시지의 정의를 제공합니다. 특정 활동은 호스트의 공통 소프트웨어로 처리할 수 있지만 장비의 전체 ​​기능을 지원하려면 장비별 호스트 소프트웨어가 필요할 수 있습니다.

SECS-II는 SECS-I와 같은 메시지 전송 프로토콜을 사용하여 장비와 호스트 간에 교환되는 메시지에 형식과 의미를 부여합니다.

 

SECS-II는 메시지 형태로 장비와 호스트 간에 정보를 전달하는 방법을 정의합니다. 이러한 메시지는 기능이라는 특정 메시지를 포함하는 스트림이라는 활동 범주로 구성됩니다. 정보 요청 및 해당 데이터 전송이 이러한 활동의 ​​예입니다.

 

SECS-II는 항목 및 항목 목록이라는 항목으로 메시지 구조를 정의합니다. 이 구조는 메시지의 적절한 해석을 보장하기 위해 자체 설명 데이터 형식을 허용합니다.

 

메시지 교환은 트랜잭션 프로토콜이라는 메시지 처리 규칙 세트에 의해 관리됩니다. 트랜잭션 프로토콜은 모든 SECS-II 구현에 대한 몇 가지 최소 요구 사항을 지정합니다.

　

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E4 — SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송 사양(SECS-I)
SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드
SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스 사양
SEMI E148 — TS-Clock 개체의 시간 동기화 및 정의에 대한 사양

개정 내역
SEMI E5-0622(기술 개정)
SEMI E5-0821(기술 개정)
SEMI E5-0220E(편집 개정판)
SEMI E5-0220(기술 개정)

SEMI E5-0219(기술 개정)

SEMI E5-1217(기술 개정)

SEMI E5-0813(기술 개정)

SEMI E5-0712(기술 개정)

SEMI E5-0611E(편집 개정)

SEMI E5-0611(기술 개정)

SEMI E5-0709E(편집 개정)

SEMI E5-0709(기술 개정)

SEMI E5-1108(기술 개정)

SEMI E5-0708(기술 개정)

SEMI E5-0308(기술 개정)

SEMI E5-1107(기술 개정)

SEMI E5-0707(기술 개정)

SEMI E5-1106E(편집 개정판)

SEMI E5-1106(기술 개정)

SEMI E5-0706(기술 개정)

SEMI E5-1104E(편집 개정)

SEMI E5-1104(기술 개정)

SEMI E5-0704(기술 개정)

SEMI E5-0304(기술 개정)

SEMI E5-1103(기술 개정)

SEMI E5-0703(기술 개정)

SEMI E5-0303(기술 개정)

SEMI E5-1102(기술 개정)

SEMI E5-0702(기술 개정)

SEMI E5-0302(기술 개정)

SEMI E5-1101(기술 개정)

SEMI E5-0701(기술 개정)

SEMI E5-0301(기술 개정)

SEMI E5-1000(기술 개정판)

SEMI E5-0600(기술 개정판)

SEMI E5-0200A(기술 개정)

SEMI E5-0200(기술 개정)

SEMI E5-0699(기술 개정)

SEMI E5-0999(기술 개정)

SEMI E5-0699(기술 개정)

SEMI E5-0299(기술 개정)

SEMI E5-0698(기술 개정)

SEMI E5-0298(기술 개정)

SEMI E5-0997(기술 개정)

SEMI E5-1296(기술 개정)

SEMI E5-95(기술 개정판)

SEMI E5-94(기술 개정판)

SEMI E5-93(기술 개정판)

SEMI E5-92(기술 개정판)

SEMI E5-89(기술 개정판)

SEMI E5-88(기술 개정판)

SEMI E5-86(기술 개정판)

SEMI E5-85(기술 개정판)

SEMI E5-82(최초 발행)

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