SEMI E18 - 질량 유량 컨트롤러의 온도 사양 가이드 -

개정: SEMI E18-1017 - 현재

개정

Abstract

이 가이드의 목적은 질량 유량 컨트롤러의 특성인 온도 매개변수를 설명하기 위한 통일된 전 세계적인 수단을 확립하는 것입니다. 제조사와 사용자 간의 혼동과 오해를 방지하기 위한 것입니다.

　

이 가이드에는 반도체 산업에서 사용되는 질량 유량 컨트롤러에 대한 온도의 영향을 설명하는 용어 정의가 포함되어 있습니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E12 — 질량 유량계 및 질량 유량 컨트롤러에 사용되는 표준화된 압력, 온도, 밀도 및 유량 단위에 대한 가이드

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