SEMI E15.1 - 300mm 공구 로드 포트 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성화 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 사양은 300mm 웨이퍼 공정 및 검사 장비의 로드 포트에 대한 치수 요구 사항을 정의합니다. 이는 장비와 공장 사이의 균일한 물리적 인터페이스를 촉진하고 자동화된 웨이퍼 캐리어 운송 시스템의 사용을 용이하게 하며 수동으로 로드되는 장비에 대한 인체공학적 요구 사항을 충족하기 위한 것입니다.

이 표준은 300mm 장비에만 적용됩니다. 200mm 웨이퍼 이하의 장비를 다루는 유사한 요구 사항은 SEMI E15에서 다룹니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양

SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양

SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양

향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스를 위한 SEMI E84 ¾ 사양

개정 내역

SEMI E15.1-0305(재승인 1110)

SEMI E15.1-0305(기술 개정)

SEMI E15.1-1104(기술 개정)

SEMI E15.1-1103(기술 개정)

SEMI E15.1-0303(기술 개정)

SEMI E15.1-0600(기술 개정)

SEMI E15.1-0200A(편집 개정)

SEMI E15.1-0200(기술 개정)

SEMI E15.1-0999(기술 개정)

SEMI E15.1-0699(기술 개정)

SEMI E15.1-0698(기술 개정)

SEMI E15.1-0697(기술 개정)

SEMI E15.1-1296(기술 개정)

SEMI E15.1-0996(기술 개정)

SEMI E15.1-96(최초 발행)

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.