SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

D07700 - SEMI D77 - FPD용 필름의 치수 측정을 위한 테스트 방법 - 컨투어 매칭 방법
D07800 - SEMI D78 - 전자 장치용 고차단 플라스틱 필름의 수증기 차단 특성 시험 방법
D07900 - SEMI D79 - 플렉서블 디스플레이의 로컬 및 전체 깜박임 테스트 방법
SEMI D79 - 플렉서블 디스플레이의 로컬 및 전체 깜박임 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
D08000 - SEMI D80 - 단기간에 높은 가스 차단성 플라스틱 필름의 수증기 투과율 측정을 위한 테스트 방법
D08100 - SEMI D81 - Test Method for Dimming Properties of Flat Panel Displays
SEMI D81 - Test Method for Dimming Properties of Flat Panel Displays 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
D08200 - SEMI D82 - Test Method for Viewing Angle of Flat Panel Displays
SEMI D82 - Test Method for Viewing Angle of Flat Panel Displays 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E00100 - SEMI E1 - 개방형 플라스틱 및 금속 웨이퍼 캐리어 사양
SEMI E1 - 개방형 플라스틱 및 금속 웨이퍼 캐리어 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E00109 - SEMI E1.9 - 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E1.9 - 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 카세트의 기계적 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E00400 - SEMI E4 - SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송 사양(SECS-I)
SEMI E4 - SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송 사양(SECS-I) 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E00500 - SEMI E5 - SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양
E00600 - SEMI E6 - 반도체 장비 설치 문서 가이드
SEMI E6 - 반도체 장비 설치 문서 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E01200 - SEMI E12 - 질량 유량계 및 질량 유량 컨트롤러에 사용되는 표준화된 압력, 온도, 밀도 및 유량 단위에 대한 안내서
E01400 - SEMI E14 - 프로세스 또는 지원 도구에서 제품에 기여한 입자 오염 측정
SEMI E14 - 프로세스 또는 지원 도구에서 제품에 기여한 입자 오염 측정 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E01500 - SEMI E15 - 공구 로드 포트 사양
SEMI E15 - 공구 로드 포트 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E01501 - SEMI E15.1 - 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 - 300mm 공구 로드 포트 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
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