SEMI E1.9 - 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 카세트의 기계적 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 표준은 IC 제조 시설에서 300mm 웨이퍼를 운반하고 저장하는 데 사용되는 카세트를 지정합니다. 여기에는 수동 및 자동 운송 사용과 처리 장비에서 웨이퍼의 고속 추출이 포함됩니다.

이 표준은 모든 기계적 인터페이스에서 모듈성과 호환성을 보장하면서 혁신에 대한 최소한의 제한을 두는 적절한 수준의 사양을 설정하기 위한 것입니다. 이 사양에 제공된 대부분의 요구 사항은 필요한 표면이 거의 없는 최대 또는 최소 치수의 형태입니다. 카세트의 기계적 인터페이스만 지정됩니다. 재료 요구 사항이나 미세 오염 한계는 제공되지 않습니다. 그러나 이 표준은 금속 및 사출 성형 플라스틱 카세트 모두에 따라 제조될 수 있도록 작성되었습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E19 — SMIF(Standard Mechanical Interface) 사양

SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링 사양

개정 내역

SEMI E1.9-1106E(0512 재승인)

SEMI E1.9-1106E(편집 개정판)

SEMI E1.9-1106(기술 개정)

SEMI E1.9-0706(기술 개정)

SEMI E1.9-0704E2(편집 개정)

SEMI E1.9-0701E(편집 개정)

SEMI E1.9-0701(기술 개정)

SEMI E1.9-0699(기술 개정)

SEMI E1.9-0299(기술 개정)

SEMI E1.9-0997(기술 개정)

SEMI E1.9-0697(기술 개정)

SEMI E1.9-1296(기술 개정판)

SEMI E1.9-94(최초 발행)

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