SEMI E1 - 개방형 플라스틱 및 금속 웨이퍼 캐리어 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 가이드라인은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용이 유효해야 합니다.

이 사양은 직경 3인치, 100mm, 125mm 및 150mm 웨이퍼의 처리 및 취급에 사용되는 플라스틱 및 금속 웨이퍼 캐리어에 대한 치수 요구 사항을 제공합니다. 또한 200mm 직경의 웨이퍼 캐리어에 대한 사양이 아닌 일부 관련 정보도 포함되어 있습니다.

이 사양에는 일반 용도와 자동 운송 용도의 두 가지 분류가 있습니다.

- General Usage는 3인치, 100mm, 125mm 및 150mm 웨이퍼 크기를 다루는 기본 지침입니다.

- Auto Transport Usage는 웨이퍼 캐리어와 자동화된 웨이퍼 처리 장비의 인터페이스에 대한 사용 요구 사항을 충족하기 위한 것입니다. 자동 운송 사용에는 125mm 웨이퍼 크기가 포함됩니다.

200mm 웨이퍼 크기에 대한 몇 가지 관련 정보(역사적 관심 사항이지만 요구 사항의 일부는 아님)가 있습니다.

이러한 사양을 충족하려면 캐리어는 치수 제한 내에서 제조되어야 하며 제조업체의 권장 사항에 따라 사용될 때 사양 내에서 치수 안정성이 있어야 합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI E1-1110(재승인 0816)

SEMI E1-1110(기술 개정)

SEMI E1-0310(전체 재작성)

SEMI E1-0697(재승인 1102)E(편집 개정)

SEMI E1-0697(재승인 1102)

SEMI E1-0697(기술 개정)

SEMI E1-78(최초 발행)

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.