SEMI D80 - 단기간에 높은 가스 차단성 플라스틱 필름의 수증기 투과율 측정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

플렉서블 디스플레이와 같은 전자기기용 플라스틱 필름에는 높은 가스 차단성이 요구됩니다. 이 표준의 목적은 사중극자 질량 분석기를 검출기로 사용하여 플라스틱 필름의 수증기 투과율을 결정하기 위한 규정입니다.

플렉서블 디스플레이와 같은 전자 장치에 사용되는 가스 차단성이 높은 플라스틱 필름의 수증기 차단 특성 결정.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI D80-0421(최초 공개)

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