SEMI E15 - 공구 로드 포트 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 표준은 인간 운송과의 호환성을 유지하면서 프로세스/검사 도구와 자동화된 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 간의 인터페이스를 통합하기 위한 것입니다.

이 사양은 웨이퍼 캐리어 재료 이송 간의 웨이퍼 캐리어 이송을 위한 기계적 인터페이스(로드 포트)를 다룹니다. 인간을 포함한 시스템 및 웨이퍼 제조/검사 장비(도구). 이 개념은 도구에서 웨이퍼 캐리어의 배치 및 방향을 정의합니다. 기계화된 자재 이동 시스템과의 합리적인 인터페이스 허용 물질 교환 기능을 수행하기 위해 인간의 접근을 손상시키지 않고.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E1 — 개방형 플라스틱 및 금속 웨이퍼 캐리어 사양

SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)

개정 내역

SEMI E15-0698E2(1016 재승인)

SEMI E15-0698E2(재승인 0310)

SEMI E15-0698E2(0703 재승인)

SEMI E15-0698E(0703 재승인)

SEMI E15-0698E(편집 개정)

SEMI E15-0698(기술 개정)

SEMI E15-96(기술 개정)

SEMI E15-95(기술 개정)

SEMI E15-90(최초 발행)

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