SEMI E20 - 클러스터 툴 모듈 인터페이스: 전력 및 비상 정지 표준 -

Abstract

이 표준은 글로벌 물리적 인터페이스 및 캐리어 위원회에서 기술적으로 승인했습니다. 이 개정판은 2010년 8월 27일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2010년 10월에 www.semi.org에서 처음 사용할 수 있습니다. 이전에 출판된 2002년 11월.

알림: 이 문서는 2010년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.

표준의 목적은 클러스터 도구의 모듈에 비상 정지 기능을 지정하는 것입니다. 도구의 나머지 부분에서 전원을 제거하지 않고도 안전한 방식으로 모듈 비상 정지 연결을 끊고 다시 연결할 수 있습니다. Emergency Off가 작동하지 않을 때 모듈에 전원이 공급되는 것을 방지합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E21 — 클러스터 도구 모듈 인터페이스: 기계 인터페이스 및 웨이퍼 운송 표준

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