SEMI E19 - SMIF(Standard Mechanical Interface) 사양 -

Name: E01900 - SEMI E19 - SMIF(Standard Mechanical Interface) 사양
Brand: semi.org
SKU: 3796
Price: 243000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩113

Non-Member Price: ₩243,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E19-0417 - 현재

품목 옵션

Abstract

알림: SEMI E19.4 및 SEMI E19.5는 더 이상 SEMI E19 표준 제품군에 게시되지 않습니다. 그들은 각각 게시되고 별도로 판매됩니다.

이 표준은 Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 1216년 12월 8일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 4월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1991년에 출판되었습니다. 이전에 2017년 1월에 게시되었습니다.

참고: 이 표준은 의도적으로 SMIF 포트의 100mm(4인치), 125mm(5인치) 및 150mm(6인치) 버전으로 제한되었습니다. 이는 SMIF 포트 표준화를 위한 기반을 마련하기 위한 것입니다. 200mm(8인치) 버전의 측면은 이해 당사자들에 의해 협상되었으며 SEMI E19.4로 게시되었습니다.

웨이퍼 또는 디스크를 포함하는 카세트의 운송 환경을 제어하기 위한 컨테이너에는 표준 인터페이스가 필요합니다. 인터페이스는 미립자 물질을 제어하기 위해 재료 이송을 위한 적절한 용기 방향을 다루고 용기와 장비 환경 사이의 연속성을 유지해야 합니다.

이 사양은 깨끗한 카세트 운송 상자를 반도체 처리 장비의 깨끗한 환경 하우징 또는 기타 깨끗한 환경에 연결하는 한 가지 접근 방식을 설명합니다. 시스템 개념에는 카세트 컨테이너의 도어를 장비 캐노피의 도어에 결합하고 카세트와 웨이퍼를 외부 오염에 노출시키지 않고 카세트를 장비 안팎으로 옮기는 것이 포함됩니다.

하위 표준(포함):

SEMI E19.1-0417 — 표준 기계 인터페이스(SMIF)용 100mm(4인치) 포트 사양

SEMI E19.2-0417 — 표준 기계 인터페이스(SMIF)용 125mm(5인치) 포트 사양

SEMI E19.3-0417 — 표준 기계 인터페이스(SMIF)용 150mm(6인치) 포트 사양

참조된 SEMI 표준

SEMI E1 — 개방형 플라스틱 및 금속 웨이퍼 캐리어 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E111 — 6인치 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 150mm 레티클 SMIF 포드(RSP150)의 기계적 사양

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