SEMI E6 - 반도체 장비 설치 문서 가이드 -

Abstract

반도체 산업 내에서 장비의 다양성과 복잡성은 시설 설계 및 장비 설치에 어려운 과제를 만듭니다. 이 가이드는 시설을 준비하고 반도체 장비를 효율적으로 설치하는 데 필요한 정보를 표준화된 방식으로 전달함으로써 장비 공급업체와 반도체 제조업체에 도움이 됩니다.

이 표준은 모든 반도체 생산 장비 및 공급자 제공 지원 장비의 시설 인터페이스에 적용됩니다.

권장 장비 설치 문서는 수령부터 연결이 완료될 때까지 모든 설치 요구 사항을 다루어야 합니다.

포함된 일련의 데이터 시트는 반도체 장비 처리를 지원하는 데 필요한 모든 현장 시설을 다루어야 합니다.

데이터 시트는 장비 공급업체와 장비 구매자가 장비 설치 데이터를 편집하고 해석하는 데 사용할 수 있는 일관된 형식을 제공합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델

SEMI E63 — 공구 표준(BOLTS-M) 인터페이스에 대한 300mm 박스 오프너/로더의 기계적 사양

SEMI E70 - 도구 수용 프로세스 가이드

SEMI E72 — 300mm 장비 설치 공간, 높이 및 무게에 대한 사양 및 가이드

SEMI E73 — 진공 펌프 인터페이스 사양 – 건식 펌프

SEMI E74 — 진공 펌프 인터페이스 사양 – 터보 분자 펌프

SEMI E76 - 300mm 공정 장비에 대한 가이드 시설 서비스에 대한 연결 지점

SEMI E106 — 300mm 웨이퍼용 물리적 인터페이스 및 캐리어에 대한 SEMI 표준에 대한 임시 개요 가이드

개정 내역

SEMI E6-0914(기술 개정)

SEMI E6-0303(전체 재작성)

SEMI E6-1296(기술 개정)

SEMI E6-96(기술 개정판)

SEMI E6-92(기술 개정판)

SEMI E6-85(기술 개정판)

SEMI E6-84(기술 개정판)

SEMI E6-82(최초 발행)

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