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SEMI E42 - 레시피 관리 표준: 개념, 동작 및 메시지 서비스 -
Abstract
이 표준은 글로벌 정보 및 제어 위원회에서 기술적으로 승인했으며 일본 정보 및 제어 위원회의 직접적인 책임입니다. 2004년 4월 30일 일본 지역 표준 위원회에서 승인된 현재 버전. 2004년 6월 www.semi.org에서 처음 사용 가능. 2004년 7월 발행 예정. 원래 1995년 9월 발행. 이전에 출판된 2000년 2월.
E 이 표준은 1999년 9월에 비임시 상태에 맞게 편집적으로 수정되었습니다. 섹션 1.2가 변경되었습니다.
이 표준은 레시피 관리에 필요한 개념, RMS(레시피 관리 표준)에서 제공하는 작업 또는 동작, 서비스 제공자와 이러한 서비스 사용자 간의 인터페이스를 통해 서비스가 제공되는 메시지를 정의합니다. 이 표준의 목적은 두 가지입니다. 레서피 관리를 집합적으로 형성하고 이를 활용하는 표준 개념, 동작 및 메시지 서비스의 존재를 가정할 수 있는 애플리케이션 소프트웨어를 개발할 수 있도록 합니다. 레시피 관리 기능을 제공하는 소프트웨어를 개발할 수 있습니다.
하위 표준:
SEMI E42.1-0704 — RMS(레시피 관리 표준)용 SECS-II 프로토콜 표준
참조된 SEMI 표준SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성 및 유지보수성(RAM)의 정의 및 측정을 위한 표준
SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E42 — 레시피 관리 표준: 개념, 동작 및 메시지 서비스
SEMI E53 — 이벤트 보고
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