SEMI E44 - Minienvironments의 조달 및 수락을 위한 가이드 -

Abstract

알림: 이 문서는 2001년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.

구매자의 요구 사항이 표준화. 이 가이드의 목적은 표준화된 절차를 제공하는 것입니다. 미니 환경의 조달 및 수용을 위해. 그것은 구매자가 포괄적이고 관련된 모든 매개변수의 구조화된 개요 및 체크리스트 미니 환경 조달.

또한 판매자와 구매자 간의 미니 환경 인수에 대한 의사 소통 및 공통 합의를 지원하고 개선하기 위한 것입니다. 관련된 미니 환경 유형에 적합한 다양한 세부 수준에서 사용할 수 있습니다.

해당되는 경우 지원에 대한 참조가 이루어집니다. 다음과 같은 문서:

• 국제 사양
• 국가 사양
• 회사 사양

이 문서는 일반적으로 소형 환경의 조달 및 승인에 포함되는 주요 주제를 정의하고 설명합니다. 이 문서를 사용하면 판매자와 구매자 간에 신속하고 간결한 합의가 이루어질 것으로 예상됩니다. 이 문서는 정의(SEMI 국제 표준 프로그램 - 편집 지침)에 따라 "주어진 주제 영역에서 사용 가능한 기술에 대한 사용자의 인식을 높이고 정보를 제공하기 위한 일련의 옵션 또는 지침"으로 정의되는 가이드라는 점을 강조합니다. ~에서 후속 평가 및 표준화를 도출할 수 있습니다. 가이드는 관점의 합의를 기반으로 하며 특정 제안을 제안할 수도 있고 제안하지 않을 수도 있습니다. 행동의 과정."

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E14 — 프로세스 또는 지원 도구에서 제품에 기여한 입자 오염 측정

SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)

SEMI E45 — 미니 환경에서 무기 오염 결정을 위한 테스트 방법

SEMI E46 — 미니 환경에서 발생하는 유기 오염 결정에 대한 사양

SEMI E48 — SMIF 인덱서 볼륨 요구 사항 사양

개정 내역

SEMI E44-96(철회 0301)

SEMI E44-96(최초 발행)

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