SEMI E49 - 고순도 및 초고순도 배관 성능, 하위 어셈블리 및 최종 어셈블리에 대한 가이드 -

Abstract

이 개요 문서의 목적은 SEMI E49.2, SEMI E49.4, SEMI E49.5, SEMI E49.6, SEMI E49.7, SEMI E49.8 및 SEMI에 대한 기본 용어 및 참조 문서 세트를 제공하는 것입니다. E137.

이 문서에는 SEMI E49.2, SEMI E49.4, SEMI E49.5, SEMI E49.6, SEMI E49.7, SEMI E49.8 및 SEMI E137에서 사용되는 용어 및 참조 문서가 포함되어 있으며 성능 및 방법 표준을 다음과 같이 참조합니다. 또한 권장 사례.

SEMI E49 하위 문서는 배관 분배 시스템의 유형(가스, DI/화학물질, 솔벤트) 및 조립 유형 및 테스트 절차(스테인리스강용 하위 조립품, 폴리머용 하위 조립품 및 최종 도구 조립품)별로 구성되어 있습니다. 최종 어셈블리는 해당 SEMI E49 하위 문서에 지정된 대로 모든 적절한 매개변수(예: 순도, 무결성, 실패율)에 대해 테스트 또는 검증되어야 합니다.

배관 분배 문서(SEMI E49.2 ~ SEMI E49.8)에는 시스템 설계, 성능, 재료 및 구성 요소에 대한 지침이 포함되어 있습니다. 순도 및 성능 등급은 세 가지 유형의 각각에 대해 설명됩니다. 유통 시스템.

사용자는 전체 도구 소유 비용 분석(SEMI E35 참조)을 완료하여 HP 또는 UHP 도구 기능의 최적 적용을 결정해야 합니다. 주요 매개변수에는 시설 비용 및 설치 주기 시간, 배관 시스템 신뢰성 및 유지보수 요인, 오염에 대한 도구 및 하위 시스템 기여, 웨이퍼 품질 및 웨이퍼 처리량 요인에 대한 결과적 영향이 포함되어야 합니다.

최종 어셈블리는 사용과 관련된 환경, 건강 및 안전(EH&S) 문제에 대한 SEMI S2의 기준에 따라 평가되어야 합니다.

하위 표준 (포함)

SEMI E49.2 - 반도체 공정 장비의 초순수 및 액체 화학 시스템에 사용되는 폴리머 어셈블리의 적격성 평가 가이드

SEMI E49.4 - 반도체 제조 장비의 금속 유체 경로가 있는 초고순도 용매 분배 시스템 가이드

SEMI E49.5 - 반도체 제조 장비에서 비금속 유체 경로를 사용하는 초고순도 용매 분배 시스템 설계 가이드

SEMI E49.6 - 서브시스템 조립 및 테스트 절차 가이드 – 스테인리스 스틸 시스템

SEMI E49.7 - 반도체 장비의 액체 화학 시스템에 사용되는 폴리머 어셈블리의 설계 및 제조 가이드

SEMI E49.8 - 반도체 제조 장비의 고순도 및 초고순도 가스 분배 시스템 가이드

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E35 — 소유 비용(COO) 계산 가이드 반도체 제조 장비에 대한 지표

SEMI E137 — 반도체 제조 장비의 최종 조립, 포장, 운송, 포장 풀기 및 재배치 가이드

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

개정 내역

SEMI E49-0617(지정 업데이트)

SEMI E49-1104(1211 재승인)

SEMI E49-1104(기술 개정)

SEMI E49-0304(지정 업데이트)

SEMI E49-1103(지정 업데이트)

SEMI E49-0702(기술 개정)

SEMI E49-95(최초 발행)

SEMI E49.1-1104(SEMI E137로 대체됨)

SEMI E49.1-0304(기술 개정)

SEMI E49.1-95(최초 발행)

SEMI E49.2-0617(전체 재작성)

SEMI E49.2-1104(기술 개정)

SEMI E49.2-0298(기술 개정)

SEMI E49.2-95(최초 발행)

SEMI E49.3-0298(1104 철회)(SEMI E49.2로 대체됨)

SEMI E49.3-0298(기술 개정)

SEMI E49.3-95(최초 발행)

SEMI E49.4-0419(전체 재작성)

SEMI E49.4-0298(기술 개정)

SEMI E49.4-95(최초 발행)

SEMI E49.5-0419(전체 재작성)

SEMI E49.5-1104(기술 개정)

SEMI E49.5-0298(기술 개정)

SEMI E49.5-95(최초 발행)

SEMI E49.6-1103(1211 재승인)

SEMI E49.6-1103(기술 개정)

SEMI E49.6-95(최초 발행)

SEMI E49.7-0419(전체 재작성)

SEMI E49.7-0304E(편집 개정)

SEMI E49.7-0304(기술 개정)

SEMI E49.7-0702(기술 개정)

SEMI E49.7-95(최초 발행)

SEMI E49.8-1103(1211 재승인)

SEMI E49.8-1103(기술 개정)

SEMI E49.8-0298(기술 개정)

SEMI E49.8-96(최초 발행)

SEMI E49.9-0298(철회 0303)

SEMI E49.9-0298(기술 개정)

SEMI E49.9-96(최초 발행)

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