SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

E05700 - SEMI E57 - 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링 사양
E05800 - SEMI E58 - 자동 신뢰성, 가용성 및 유지보수 표준(ARAMS): 개념, 동작 및 서비스
E06200 - SEMI E62 - 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양
SEMI E62 - 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E06300 - SEMI E63 - 공구 표준(BOLTS-M) 인터페이스에 대한 300mm 박스 오프너/로더 사양
E06400 - SEMI E64 - SEMI E15.1 도킹 인터페이스 포트에 대한 300mm 카트 사양
SEMI E64 - SEMI E15.1 도킹 인터페이스 포트에 대한 300mm 카트 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E06600 - SEMI E66 - 질량 흐름 컨트롤러에 의한 입자 기여 결정을 위한 테스트 방법
E06700 - SEMI E67 - 질량 흐름 컨트롤러의 신뢰성을 결정하기 위한 테스트 방법
SEMI E67 - 질량 흐름 컨트롤러의 신뢰성을 결정하기 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E06800 - SEMI E68 - 질량 흐름 컨트롤러의 예열 시간 결정을 위한 테스트 방법
SEMI E68 - 질량 흐름 컨트롤러의 예열 시간 결정을 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E06900 - SEMI E69 - 열 질량 흐름 컨트롤러의 재현성 및 제로 드리프트를 결정하기 위한 테스트 방법
E07000 - SEMI E70 - 공구 수용 프로세스 가이드
SEMI E70 - 공구 수용 프로세스 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E07200 - SEMI E72 - 장비 풋프린트, 높이 및 무게에 대한 사양 및 가이드
SEMI E72 - 장비 풋프린트, 높이 및 무게에 대한 사양 및 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E07300 - SEMI E73 - 진공 펌프 인터페이스 사양 - 건식 펌프
SEMI E73 - 진공 펌프 인터페이스 사양 - 건식 펌프 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E07400 - SEMI E74 - 진공 펌프 인터페이스 사양 - 터보 분자 펌프
SEMI E74 - 진공 펌프 인터페이스 사양 - 터보 분자 펌프 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E07600 - SEMI E76 - 300mm 공정 장비용 가이드 시설 서비스에 대한 연결 지점
SEMI E76 - 300mm 공정 장비용 가이드 시설 서비스에 대한 연결 지점 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E07700 - SEMI E77 - 대체 가스를 사용하는 질량 유량 컨트롤러의 변환 계수 계산을 위한 테스트 방법
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