SEMI E62 - 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 가이드라인은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용이 유효해야 합니다.

이 표준은 프로세스 또는 계측 도구와 전면 개방 상자 사이 인터페이스의 도구 측면을 지정합니다.

이 표준은 모든 기계적 인터페이스에서 모듈성과 호환성을 보장하면서 혁신에 대한 최소한의 제한을 두는 적절한 수준의 사양을 설정하기 위한 것입니다. 물리적 인터페이스만 지정됩니다. 재료 요구 사항이나 미세 오염 한계는 제공되지 않습니다. 이 표준에 지정된 인터페이스는 봉인된 미니 환경용일 수도 있지만 잘 정의된 자동화 인터페이스일 수도 있습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)

SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송하고 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드의 기계적 사양

SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양

SEMI M31 — 300mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자의 기계적 사양

개정 내역

SEMI E62-1106(재승인 0512)

SEMI E62-1106(기술 개정)

SEMI E62-0306(기술 개정)

SEMI E62-1105(기술 개정)

SEMI E62-0705(기술 개정)

SEMI E62-0703E2(편집 개정)

SEMI E62-0703E(편집 개정판)

SEMI E62-0703(기술 개정)

SEMI E62-0302AE(편집 개정)

SEMI E62-0302A(편집 개정)

SEMI E62-0302(기술 개정)

SEMI E62-1101(기술 개정)

SEMI E62-0701(기술 개정)

SEMI E62-0301(기술 개정)

SEMI E62-0999(기술 개정)

SEMI E62-0299(기술 개정)

SEMI E62-0698(기술 개정)

SEMI E62-0298(기술 개정)

SEMI E62-0997(최초 발행)

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