SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

E09400 - SEMI E94 - 제어 작업 관리 사양
SEMI E94 - 제어 작업 관리 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E09500 - SEMI E95 - Specification for Human Interface for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI E95 - Specification for Human Interface for Semiconductor Manufacturing Equipment 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E09600 - SEMI E96 - CIM 프레임워크 기술 아키텍처 가이드
SEMI E96 - CIM 프레임워크 기술 아키텍처 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E09700 - SEMI E97 - Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations and Abstract Interfaces
E09800 - SEMI E98 - 개체 기반 장비 모델(OBEM)에 대한 임시 표준
SEMI E98 - 개체 기반 장비 모델(OBEM)에 대한 임시 표준 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E09900 - SEMI E99 - 캐리어 ID 리더/라이터 사양
SEMI E99 - 캐리어 ID 리더/라이터 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E10000 - SEMI E100 - 6인치 또는 230mm 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 레티클 SMIF 포드(RSP) 사양
E10100 - SEMI E101 - EFEM 기능 구조 모델 가이드
SEMI E101 - EFEM 기능 구조 모델 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E10200 - SEMI E102 - CIM 프레임워크 자재 운송 및 보관 구성 요소에 대한 임시 사양
E10300 - SEMI E103 - FOUP를 에뮬레이트하는 300mm 단일 웨이퍼 박스 시스템의 기계적 사양
E10400 - SEMI E104 - 저압 파티클 모니터의 통합 및 교정 지침에 대한 사양
SEMI E104 - 저압 파티클 모니터의 통합 및 교정 지침에 대한 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E10500 - SEMI E105 - CIM 프레임워크 스케줄링 구성 요소에 대한 임시 사양
SEMI E105 - CIM 프레임워크 스케줄링 구성 요소에 대한 임시 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E10600 - SEMI E106 - 300mm 웨이퍼용 물리적 인터페이스 및 캐리어에 대한 SEMI 표준 개요 가이드
E10700 - SEMI E107 - 수율 관리 시스템을 위한 전기 고장 링크 데이터 형식 사양
SEMI E107 - 수율 관리 시스템을 위한 전기 고장 링크 데이터 형식 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E10800 - SEMI E108 - 가스 크로마토그래피/질량 분광법을 사용하여 소형 환경에서 가스 방출 유기 오염을 평가하기 위한 테스트 방법
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