SEMI E85 - 물리적 AMHS 스토커와 인터베이 운송 시스템 상호 운용성에 대한 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

 

이 사양은 300mm AMHS(자동 자재 취급 시스템) 장비의 인터베이 로드 포트에 대한 치수 요구 사항을 정의합니다. 이는 공장 전체에서 발견되는 다양한 자재 취급 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 자동 운송 시스템의 사용을 용이하게 하기 위해 다양한 유형의 인터베이 장비 사이의 물리적 인터페이스를 정의하는 필수 기능 및 치수 목록을 홍보하기 위한 것입니다. 이는 스토커와 인터베이 운송 시스템이 모두 준수해야 하는 6가지 인터페이스 옵션을 정의하여 수행됩니다. 정의된 옵션은 다음과 같습니다.

·     옵션 A: 능동 운송은 캐리어를 내부 스토커 위치로 로드합니다.

·     옵션 B: 활성 운송은 캐리어를 외부 스토커 위치에 적재합니다.

·     옵션 C: 수동 운송은 내부 스토커 위치에 캐리어를 제공합니다.

·     옵션 D: 수동 운송은 캐리어를 외부 스토커 위치(운동학적 결합 핀 픽업)에 제공합니다.

·     옵션 E: 수동 운송은 외부 스토커 위치(컨베이어 플랜지 픽업)에 캐리어를 제공합니다.

·     옵션 F: 수동 운송은 캐리어를 외부 스토커 위치에 제공하여 (a) 모든 3개의 키네마틱 핀, (b) 3개의 모든 보조 키네마틱 핀 또는 (c) 상단 로봇 플랜지를 사용하여 픽업합니다. 캐리어는 적재면 평면에 수직인 캐리어 전면을 향합니다.

이 표준은 300mm AMHS 인터베이 장비의 물리적 인터페이스에만 적용됩니다. 300mm AMHS 인트라베이 장비에 적용되는 유사한 요구 사항은 SEMI E15.1에서 다룹니다.

 

　 참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양

SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송하고 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드의 기계적 사양

SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링 사양

SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양

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