SEMI E89 - MSA(측정 시스템 분석) 가이드 -

Abstract

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이 가이드의 목적은 일관성 있는 용어 세트를 제공하고 측정 시스템 분석(MSA) 계획 및 수행에 대한 단순하지만 건설적이고 실험적인 접근 방식을 설명하는 것입니다.

 

MSA의 목표는 제조 또는 실험실 환경에서 사용하도록 의도된 대로 측정 시스템(MS)의 성능 기능을 특성화하는 것입니다.

 

MS 바이어스와 모든 가변성 소스의 크기 및 특성을 정확하게 식별하면 MS가 의도한 기능을 수행할 수 있는지 여부를 결정할 수 있습니다. 또한 잘 설계된 MSA를 사용하여 가장 개선이 필요한 영역을 식별하고 정량화할 수 있습니다.

이 가이드는 다음을 포함하여 MS 기능의 특정 측정을 결정하기 위한 절차를 다룹니다.

• 다음을 포함한 다양한 조건에서 측정 변동성(즉, 재현성).

• 반복성의 영향,

• 로드-언로드 및

• 시간 및

• 편견(편향 관련 포함)

• 선형성,

• 안정성 및

• 일치하는 공차.

 

이 가이드는 P/T(Precision-over-Tolerance) 비율 및 SNR(Signal-to-Noise Ratio)과 같은 보조 메트릭도 다룹니다.

 

이 가이드의 주요 초점은 정상적인 작동 조건에서 자동화된 웨이퍼 MS의 측정 기능을 결정하는 것이지만 정의 및 방법론은 처리된 다이, 패키지 장치, 평면 패널 디스플레이, 조각과 같은 장치의 자동화된 측정과 관련된 다른 많은 측정 상황으로 확장될 수 있습니다. 부품 등

 

MSA를 수행하기 위해 보편적으로 인정되는 올바른 방법은 없지만 이 가이드에 설명된 접근 방식은 기술 문헌(§ 11 참조)에서 지원되며 ISO 5725-2에서 옹호하는 관행과 일치합니다. 이 가이드에 제공된 절차는 MSA 수행에 대한 접근 방식을 나타내며 다양한 응용 프로그램에 사용되어야 하는 기본 참조 방법을 제공합니다. 특정 상황에서는 다른 방법이 적절할 수 있습니다.

 

비체계적(예: 무작위) 오류의 다양한 원인을 분리하기 위한 이 가이드의 절차는 요인 실험 및 분산 분석(ANOVA)의 사용을 기반으로 합니다. 이 가이드의 주요 초점은 자동화된 MS의 평가에 있기 때문에 다른 운영자에 의해 도입된 변동성은 최소화될 것으로 예상됩니다.

 

참조된 SEMI 표준

없음.

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