SEMI E90 - 기판 추적 사양 -

Abstract

알림: SEMI E90의 지정은 SEMI E90.1의 재승인을 반영하기 위해 0921 게시 주기 동안 업데이트되었습니다.

이 사양의 목적은 제조 장비에서 기판(제조 제품)을 추적하는 장비의 표준 서비스를 제공하는 것입니다. 이 사양은 메시지/서비스뿐만 아니라 기판의 정보 관리에 대한 개념과 동작을 정의합니다.

기본적으로 기판에 대한 정보는 공장 시스템에서 관리해야 하며, 장비는 기판 정보 관리를 위한 서비스를 제공해야 합니다. 이 사양은 장비에 상주하는 기판 정보를 관리하기 위한 장비 서비스에 대한 요구 사항을 설명합니다.

이 사양의 범위는 사용자가 요청할 수 있는 장비의 정보 서비스를 정의하는 것입니다. 필요한 서비스를 명확히 하기 위해 기판의 개념과 동작, 기판 위치, 배치 및 배치 위치가 정의됩니다.

이 사양은 기판을 취급하는 모든 제조 장비에 적용됩니다. 이러한 서비스를 구현하려면 통신 링크를 통해 장비와 공장 시스템을 통합해야 합니다.

하위 표준(포함):

SEMI E90.1-0312(재승인 0921) - SECS-II 프로토콜 기판 추적 사양

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양

SEMI E39 — 개체 서비스 사양: 개념, 행동 및 서비스

개정 내역

SEMI E90-0921(지정 업데이트)

SEMI E90-0312(재승인 1218)

SEMI E90-0312(기술 개정)

SEMI E90-1111(지정 업데이트)

SEMI E90-0707(기술 개정)

SEMI E90-0706(기술 개정)

SEMI E90-0306(기술 개정)

SEMI E90-1105(기술 개정)

SEMI E90-0705(기술 개정)

SEMI E90-1104E2(편집 개정판)

SEMI E90-1104E(편집 개정판)

SEMI E90-1104(기술 개정)

SEMI E90-0304(기술 개정)

SEMI E90-0703(기술 개정)

SEMI E90-0303(기술 개정)

SEMI E90-1102(기술 개정)

SEMI E90-0702(기술 개정)

SEMI E90-0302(기술 개정)

SEMI E90-1101(기술 개정)

SEMI E90-0701(기술 개정)

SEMI E90-0301(기술 개정)

SEMI E90-1000(기술 개정판)

SEMI E90-0600(기술 개정판)

SEMI E90-0200(기술 개정)

SEMI E90-0999(최초 발행)

SEMI E90.1-0312(재승인 0921)

SEMI E90.1-0312(기술 개정)

SEMI E90.1-1111(기술 개정)

SEMI E90.1-0706(기술 개정)

SEMI E90.1-0705(기술 개정)

SEMI E90.1-1104(기술 개정)

SEMI E90.1-0703(기술 개정)

SEMI E90.1-0303(기술 개정)

SEMI E90.1-1102(기술 개정판)

SEMI E90.1-0702(기술 개정)

SEMI E90.1-0701(기술 개정)

SEMI E90.1-0301(최초 발행)

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