SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

E07800 - SEMI E78 - 장비의 ESD(Electrostatic Discharge) 및 ESA(Electrostatic Attraction) 평가 및 제어 가이드
E07900 - SEMI E79 - 장비 생산성의 정의 및 측정 사양
SEMI E79 - 장비 생산성의 정의 및 측정 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E08000 - SEMI E80 - 질량 유량 컨트롤러의 태도 감도 결정을 위한 테스트 방법(마운팅 위치)
E08100 - SEMI E81 - CIM 프레임워크 도메인 아키텍처에 대한 임시 사양
SEMI E81 - CIM 프레임워크 도메인 아키텍처에 대한 임시 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E08200 - SEMI E82 - Interbay/Intrabay AMHS SEM(IBSEM) 사양
SEMI E82 - Interbay/Intrabay AMHS SEM(IBSEM) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E08300 - SEMI E83 - PGV 기계식 도킹 플랜지 사양
SEMI E83 - PGV 기계식 도킹 플랜지 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E08400 - SEMI E84 - Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface - SEMI Dev 2
SEMI E84 - 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양 정상 가격₩423,000 KRW 할인 가격₩240,000 KRW부터
E08500 - SEMI E85 - 물리적 AMHS 스토커와 인터베이 운송 시스템 상호 운용성에 대한 사양
E08600 - SEMI E86 - CIM 프레임워크 공장 노동 구성 요소에 대한 임시 사양
SEMI E86 - CIM 프레임워크 공장 노동 구성 요소에 대한 임시 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E08700 - SEMI E87 - 캐리어 관리(CMS) 사양
SEMI E87 - 캐리어 관리(CMS) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E08800 - SEMI E88 - AMHS 스토리지 SEM(스토커 SEM) 사양
SEMI E88 - AMHS 스토리지 SEM(스토커 SEM) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E08900 - SEMI E89 - MSA(측정 시스템 분석) 가이드
SEMI E89 - MSA(측정 시스템 분석) 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E09000 - SEMI E90 - 기판 추적 사양
SEMI E90 - 기판 추적 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E09100 - SEMI E91 - 프로버 특정 장비 모델(PSEM) 사양
SEMI E91 - 프로버 특정 장비 모델(PSEM) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E09200 - SEMI E92 - 도구 상호 운용성 표준(볼트/라이트)에 대한 300mm 경량 및 소형 박스 오프너/로더 사양
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