SEMI E73 - 진공 펌프 인터페이스 사양 - 건식 펌프 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

 

이 표준은 건식 펌프(DRP) 유형 진공 펌프에 대한 물리적 및 전기적 인터페이스를 지정합니다. 펌프 인터페이스의 표준화는 펌프의 호환성을 허용합니다. 장치 제조업체는 펌프의 호환성에 필요한 인터페이스를 장비 공급업체에 지정하기 위해 처리 장비를 조달할 때 이 표준을 사용합니다. 이 문서는 또한 반도체 처리 장비 공급업체가 펌프 공급업체에 대한 표준화된 인터페이스를 지정하는 데 사용됩니다.

이 규격은 300mm 반도체 공정 장비와 함께 공급되는 진공 펌프에 적용됩니다.

 

표준은 다음을 포함하여 건식 펌프의 기계적 및 전기적 인터페이스를 지정합니다.

• 기계적 커넥터

• 제어 신호 및 커넥터

• 전원 공급 장치 및 커넥터

 

그림 1은 표준화된 인터페이스의 범위를 보여줍니다.

 

참조된 SEMI 표준

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

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