SEMI E68 - 질량 흐름 컨트롤러의 예열 시간 결정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 방법의 목적은 질량 흐름 컨트롤러(MFC)의 예열 시간을 정량화하기 위한 표준화된 방법을 제공하는 것입니다.

이 방법의 테스트 조건은 전원을 인가하기 전 24시간 동안 주변 조건과 균등화된 MFC를 사용하여 벤치 탑 워밍업을 시뮬레이션하기 위한 것입니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI E68-0997(재승인 0913)

SEMI E68-0997(재승인 0309)

SEMI E68-0997(재승인 1103)

SEMI E68-0997(최초 발행)

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