SEMI E67 - 질량 흐름 컨트롤러의 신뢰성을 결정하기 위한 테스트 방법 -

Name: E06700 - SEMI E67 - 질량 흐름 컨트롤러의 신뢰성을 결정하기 위한 테스트 방법
Brand: semi.org
SKU: 3845
Price: 243000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩113

Non-Member Price: ₩243,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E67-1011(0218 재승인) - 현재

품목 옵션

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 5월 16일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2018년 2월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 1997년 9월에 처음 출판되었습니다. 이전에 2011년 10월에 게시되었습니다.

이 문서는 수명 기간 동안 제조업체가 게시한 사양을 충족하는 질량 흐름 컨트롤러(MFC)의 기능을 결정하는 데 도움이 되는 방법을 설명합니다. 테스트 결과는 MFC 비교에도 유용합니다.

이 절차는 반도체 가스 시스템에 사용되는 MFC에 적용됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C59 — 질소 사양
SEMI E17 - 질량 흐름 컨트롤러 과도 특성 테스트 가이드
SEMI E66 — 질량 흐름 컨트롤러에 의한 입자 기여 결정을 위한 테스트 방법
SEMI E69 — 열 질량 흐름 컨트롤러의 재현성 및 제로 드리프트 결정을 위한 테스트 방법
SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양

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