SEMI E80 - 질량 유량 컨트롤러의 태도 감도 결정을 위한 테스트 방법(마운팅 위치) -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2015년 5월 19일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2015년 9월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1999년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2010년 7월.

알림: 이 문서는 약간의 편집 변경을 거쳐 재승인되었습니다.

이 테스트 방법의 목적은 질량 유량 컨트롤러(MFC)에 대한 장착 자세의 영향을 정량화하기 위한 표준화된 방법을 제공하는 것입니다.

이 문서는 MFC 장착 효과를 테스트하고 설명하는 것과 관련하여 제조업체와 사용자 간의 통신을 위한 공통 기반을 제공합니다.

이 절차는 유량 범위 및 영점에 대한 MFC의 자세(장착 위치) 효과를 결정하는 방법을 설명합니다.

이 문서의 의도는 특정 테스트 프로그램을 제안하는 것이 아니라 이 방법에서 다루는 매개변수를 테스트할 때 사용할 테스트 방법을 지정하는 것입니다. 기준 작동 조건은 '최상의' 성능을 기대할 수 있는 환경 조건을 나타냅니다.

이 문서에 설명된 최소 테스트는 135.8kPa(19.7psia) 및 308kPa(44.7psia)에서 질소 가스를 사용하여 5개의 공통 장착 위치에서 하나의 MFC를 테스트하는 것입니다. 이 테스트 방법은 추가 가스, 압력 또는 장착 자세를 평가하는 데 사용할 수 있습니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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