SEMI E77 - 대체 가스를 사용하는 질량 유량 컨트롤러의 변환 계수 계산을 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2015년 5월 19일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2015년 8월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1998년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2010년 7월.

이 테스트 방법의 목적은 질량 유량 컨트롤러(MFC)에 대한 한 가스에서 다른 가스로의 공칭 평균 변환 계수를 정량화하고 MFC에 대한 유량 함수로 변환 계수를 정량화하는 것입니다.

이 절차는 두 가스 사이의 MFC 변환 계수 및 기능을 결정하는 방법을 설명합니다.

이 문서는 제조업체와 사용자 간의 커뮤니케이션을 위한 공통 기반을 제공합니다.

이 문서의 의도는 특정 테스트 프로그램을 제안하는 것이 아니라 이 방법에서 다루는 매개변수를 테스트할 때 사용할 테스트 방법을 지정하는 것입니다. 기준 작동 조건은 '최상의' 성능을 기대할 수 있는 환경 조건을 나타냅니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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