SEMI E81 - CIM 프레임워크 도메인 아키텍처에 대한 임시 사양 -

Abstract

이 표준은 글로벌 정보 및 제어 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2006년 11월 21일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2007년 2월에 www.semi.org에서 사용할 수 있었습니다. 원래는 1999년 6월에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2000년 6월.

 

이 문서는 반도체 공장에서 사용되는 CIM(Computer Integrated Manufacturing) 시스템용 애플리케이션 프레임워크를 나타내는 일련의 문서 구조 및 내용에 대한 개요입니다. 프레임워크는 주어진 도메인에서 애플리케이션을 통합하고 정보를 공유하기 위한 공통 환경을 만드는 소프트웨어 인프라입니다. 이 프레임워크의 목적은 복잡한 제조 시스템을 위한 산업 표준 아키텍처를 확립하여 개방형 다중 공급업체 CIM 시스템 환경으로 이끄는 것입니다. 이 사양에 설명된 프레임워크를 CIM 프레임워크라고 합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성 및 유지보수성(RAM)의 정의 및 측정을 위한 표준
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E32 — 자재 이동 관리(MMM), SEMI E42 — 레시피 관리 표준: 개념, 동작 및 메시지 서비스
SEMI E58 — ARAMS(Automated Reliability, Availability, and Maintenanceability Standard): 개념, 동작 및 서비스
SEMI E86 — CIM 프레임워크 공장 노동 구성 요소에 대한 임시 사양
SEMI E93 — CIM 프레임워크 고급 프로세스 제어 구성 요소에 대한 임시 사양
SEMI E96 - CIM 프레임워크 기술 아키텍처 가이드
SEMI E97 — CIM 프레임워크 글로벌 선언 및 추상 인터페이스에 대한 임시 사양
SEMI E102 — CIM 프레임워크 자재 운송 및 보관 구성 요소에 대한 임시 사양

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