SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

E10900 - SEMI E109 - 레티클 및 포드 관리(RPMS) 사양
SEMI E109 - 레티클 및 포드 관리(RPMS) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E11000 - SEMI E110 - 300mm 로드 포트에 대한 로드 포트 작동 인터페이스의 표시기 배치 영역 및 스위치 배치 볼륨에 대한 지침
E11100 - SEMI E111 - 6인치 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 150mm 레티클 SMIF 포드(RSP150) 사양
E11200 - SEMI E112 - 여러 개의 6인치 레티클을 운반 및 저장하는 데 사용되는 150mm 다중 레티클 SMIF 포드(MRSP150) 사양
E11300 - SEMI E113 - 반도체 처리 장비 RF 전력 공급 시스템 사양
SEMI E113 - 반도체 처리 장비 RF 전력 공급 시스템 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E11400 - SEMI E114 - 반도체 처리 장비 RF 전력 공급 시스템에 사용되는 RF 케이블 어셈블리에 대한 테스트 방법
E11500 - SEMI E115 - 반도체 처리 장비 RF 전력 전달 시스템에 사용되는 정합 네트워크의 부하 임피던스 및 효율성을 결정하기 위한 테스트 방법
E11600 - SEMI E116 - 장비 성능 추적 사양
SEMI E116 - 장비 성능 추적 사양 정상 가격₩424,000 KRW 할인 가격₩240,000 KRW부터
E11700 - SEMI E117 - 레티클 로드 포트 사양
SEMI E117 - 레티클 로드 포트 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E11800 - SEMI E118 - 웨이퍼 ID 판독기 통신 인터페이스 사양 - 웨이퍼 ID 판독기 기능 표준: 개념, 동작 및 서비스
E11900 - SEMI E119 - 300mm 웨이퍼의 공장 간 운송을 위한 감소된 피치 전면 개방 박스의 기계적 사양
E12000 - SEMI E120 - 공통 장비 모델(CEM) 사양
SEMI E120 - 공통 장비 모델(CEM) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E12100 - SEMI E121 - 반도체 제조 애플리케이션을 위한 XML의 스타일 및 사용에 대한 가이드
E12200 - SEMI E122 - TSEM(테스터 장비 특정 장비 모델) 사양
SEMI E122 - TSEM(테스터 장비 특정 장비 모델) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E12300 - SEMI E123 - 핸들러 장비 특정 장비 모델(HSEM) 사양
SEMI E123 - 핸들러 장비 특정 장비 모델(HSEM) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
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