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SEMI E100 - 6인치 또는 230mm 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 레티클 SMIF 포드(RSP) 사양 -
Abstract
알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성화 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.
이 표준은 레티클(포토마스크) 또는 집적 회로(IC) 제조 시설에서 6인치 또는 230mm 레티클을 운반하고 저장하는 데 사용되는 레티클 SMIF 포드(RSP)를 지정합니다.
이 표준은 모든 기계적 인터페이스에서 모듈성과 호환성을 보장하면서 혁신에 대한 최소한의 제한을 두는 적절한 수준의 사양을 설정하기 위한 것입니다. 이 사양에 제공된 대부분의 요구 사항은 필요한 표면이 거의 없는 최대 또는 최소 치수의 형태입니다. RSP에 대한 물리적 인터페이스만 지정됩니다. 이 사양에는 재료 요구 사항 또는 미세 오염 제한이 제공되지 않습니다.
이 사양의 펠리클 배제 용적은 레티클의 전체 길이로 확장되는 펠리클을 수용합니다. 펠리클 배제 체적 폭은 230mm 레티클의 경우 151mm로, 6인치 레티클의 경우 129mm로 제한됩니다.
참조된 SEMI 표준
SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E19.4 - 200mm SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E30.1 — 특정 장비 모델 검사 및 검토(ISEM)
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양
SEMI P5 — 펠리클 사양
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