SEMI E103 - FOUP를 에뮬레이트하는 300mm 단일 웨이퍼 박스 시스템의 기계적 사양 -

Abstract

이 표준은 글로벌 물리적 인터페이스 및 캐리어 위원회에서 기술적으로 승인했습니다. 이 에디션은 2010년 8월 27일에 글로벌 감사 및 리뷰 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2010년 10월에 www.semi.org에서 처음 사용할 수 있습니다. 이전에 출판된 2004년 7월.

알림: 이 문서는 2010년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.

이 표준은 프로세스 또는 계측 장비의 FIMS 인터페이스가 있는 로드 포트(또는 버퍼)와 하나의 웨이퍼(예: 테스트 웨이퍼)만 고정하고 어댑터에 맞는 상자를 포함하는 시스템 사이의 기계적 인터페이스의 캐리어 측을 지정합니다. 단일 웨이퍼 인터페이스(SWIF)라고 하는 메커니즘. 이 시스템은 장비에 300mm FOUP로 나타납니다(단, 중간 웨이퍼 주변의 볼륨만 액세스할 수 있음).

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송하고 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드의 기계적 사양

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