SEMI E112 - 여러 개의 6인치 레티클을 운반 및 저장하는 데 사용되는 150mm 다중 레티클 SMIF 포드(MRSP150) 사양 -

Abstract

이 표준은 Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 5월 16일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 10월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2001년 11월에 출판되었습니다. 이전에 2017년 1월에 게시되었습니다.

이 표준은 집적 회로(IC) 제조 시설에서 6개의 6인치 레티클을 운반하고 저장하는 데 사용되는 150mm 다중 레티클 SMIF 포드(MRSP150)를 지정합니다.

이 표준은 모든 기계적 인터페이스에서 모듈성과 호환성을 보장하면서 혁신에 대한 최소한의 제한을 두는 적절한 수준의 사양을 설정하기 위한 것입니다. 이 사양에 주어진 대부분의 요구 사항은 필요한 표면이 거의 없는 최대 또는 최소 치수의 형태입니다. MRSP150의 물리적 인터페이스만 지정됩니다. 이 사양에는 재료 요구 사항 또는 미세 오염 제한이 제공되지 않습니다.

이 사양의 펠리클 배제 체적은 레티클의 전체 길이와 최대 124mm의 펠리클 너비까지 확장되는 펠리클을 수용합니다.

MRSP150에는 다음과 같은 구성 요소, 하위 구성 요소 및 기타 기능이 있습니다. '●' 기호는 필수 구성 요소 또는 기능을 나타내고 '◊' 기호는 선택 구성 요소 또는 기능을 나타냅니다.

• 맨 위

• 로봇 핸들링 플랜지

• 내부

• 6개의 6인치 레티클 지원
• 레티클 캡처
• 레티클 접촉면
• 엔드 이펙터 제외 볼륨
• 2개의 안전 레일 제외 볼륨
• 펠리클 배제 볼륨
• 측면 제약
• 레티클 백스톱

• 측면

• 양측 기준면에 평행한 측면에 있는 2개의 측면 처리 플랜지

• 2면 처리 제외 볼륨
• RFID 배치 구역

• 맨 아래

• SEMI E19.3에 정의된 SMIF와 호환되는 도어
• 포드 래치 핀 구멍
• 양측 기준면에 평행한 측면에 있는 2개의 컨베이어 레일

참조된 SEMI 표준

SEMI E19.3 — 표준 기계 인터페이스(SMIF)용 150mm(6인치) 포트 사양
SEMI E30.1 — ISEM(특정 장비 모델 검토 및 검사 사양)
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송하고 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드의 기계적 사양
SEMI E111 — 6인치 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 150mm 레티클 SMIF 포드(RSP150) 사양
SEMI P5 — 펠리클 사양

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