SEMI E108 - 가스 크로마토그래피/질량 분광법을 사용하여 소형 환경에서 가스 방출 유기 오염을 평가하기 위한 테스트 방법 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

 

이 표준의 목적은 가스 크로마토그래피/질량 분광법(GC/MS)을 사용하여 웨이퍼의 보관 및 운송에 사용되는 미니 환경에서 가스 방출 유기 오염을 결정하기 위한 테스트 방법을 정의하는 것입니다.

 

이 테스트 방법은 SEMI E46의 대안으로 사용됩니다. SEMI E46과 이 문서의 주요 차이점은 SEMI E46은 이온 이동성 분광법(IMS)을 기반으로 하는 테스트 방법을 측정 기술로 정의하는 반면, 이 표준은 열 탈착과 함께 GC/MS를 기반으로 한다는 것입니다. 또한 이 테스트 방법은 완전한 미니 환경에서 유기 화합물의 가스 방출을 테스트하기 위한 절차를 제공합니다. SEMI E46 및 이 문서의 결과는 다른 단위로 제공됩니다.

이 문서에 제공된 테스트 방법은 소형 환경에서 유기 오염의 가스 방출 평가에 적용할 수 있습니다.

 

GC/MS는 일반적으로 유기 화합물의 특성화 및 정량화에 사용되기 때문에 유기 오염을 결정하는 방법으로 선택됩니다. 열 탈착과 결합하여 대기(즉, 미니 환경 내부)에서 유기 화합물을 식별하는 방법과 소스 물질에서 직접 이동된 오염 물질을 식별하는 방법을 제공합니다. 이 방법은 반도체 산업에서 사용되는 재료 및 프로세스를 평가하는 데에도 사용할 수 있습니다.

 

이 테스트 방법은 ASTM F1982를 기반으로 합니다.

 

참조된 SEMI 표준

SEMI E46 — 미니 환경에서 발생하는 유기 오염 결정을 위한 테스트 방법

SEMI F21 — 깨끗한 환경에서 공기 중 분자 오염 물질 수준의 분류

 

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.