SEMI E110 - 300mm 로드 포트에 대한 로드 포트 작동 인터페이스의 표시기 배치 영역 및 스위치 배치 볼륨에 대한 지침 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 가이드라인은 로드 포트 상태 표시기 및 로드 포트 작동 스위치를 배치해야 하는 영역 및 볼륨을 정의합니다. 이 가이드라인의 목적은 300mm 로드 포트에 배치할 때 유사성을 부여하는 것입니다. 이 가이드라인은 해당 영역과 용적만을 정의하며 이러한 영역과 용적 내에서의 정확한 배치는 로드 포트 공급업체의 지시에 따릅니다.

구역 또는 체적은 로드 포트 설계의 표준화 개선 및 장치 제조업체 간의 로드 포트 작동의 우수한 통합을 통해 보다 정확하게 정의될 수 있습니다. 이 지침은 이러한 노력 후에 사양으로 개선될 수 있습니다.

이 가이드라인은 300mm 로드 포트에 대한 다음 권장 사양을 정의합니다.

• 로드 포트 상태 표시기를 배치해야 하는 표시기 배치 영역.

• 로드 포트 작동 스위치를 배치해야 하는 스위치 배치 볼륨.

이 지침은 고정 버퍼 장비와 내부 버퍼 장비 모두에 대한 사양을 다룹니다.

이 지침은 모든 기계적 인터페이스에서 모듈성과 호환성을 보장하면서 혁신에 대한 최소한의 제한을 두는 적절한 수준의 사양을 설정하기 위한 것입니다. 로드 포트에 대한 물리적 인터페이스만 지정됩니다. 이 사양에는 재료 요구 사항, 미세 오염 제한, 정의된 물리적 기능의 사용 또는 논리가 제공되지 않습니다.

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