SEMI E109 - 레티클 및 포드 관리(RPMS) 사양 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 개정판은 2017년 5월 16일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 10월 www.semi.org에서 확인 가능; 원래 2001년 7월에 출판되었습니다. 이전에 게시된 2010년 11월.

이 문서는 리소그래피, 레티클 검사 및 베어 레티클 스토커 장비에 대한 표준화된 동작을 제공합니다. 또한 리소그래피, 레티클 검사 및 베어 레티클 스토커 장비와의 표준화된 통신을 제공합니다. 여기에는 장비에 대한 자동 및 수동 레티클 포드 전송의 조정, 실행 및 완료, 레티클 포드에 대한 레티클 전송, 장비 내에서 레티클의 이동, 레티클 포드 및 레티클 모두의 식별 및 검증이 포함됩니다. 레티클의 검사 및 자격, 레티클 사용 추적과 같은 기타 관련 정보.

이것은 레티클을 취급하는 장비에 대한 호스트와 장비 통신을 다루는 표준입니다. 여기에는 레티클 포드 안팎에서 레티클을 처리하는 장비만 포함됩니다.

이 문서의 범위는 자동 및 수동 레티클 포드 전송, 레티클 포드로/로부터의 레티클 전송, 내부 레티클 이동, ReticleID의 식별 및 확인, 레티클의 검사 및 자격 부여에서 호스트의 지식과 역할을 용이하게 하는 표준을 정의하는 것입니다. 레티클 사용 추적. 특히 이 문서는 다음에 대한 장비와의 호스트 상호 작용을 정의하는 상태 모델 및 시나리오를 제공합니다.

•AMHS 차량과 생산 장비, 베어 레티클 스토커, 레티클 검사 장비 레티클 로드 포트 사이의 레티클 포드 이송.

• 리소그래피 생산 장비 내부 레티클 라이브러리 공간으로/에서 레티클 전송.

• 장비 및 레티클 로드 포트 액세스 모드 전환.

•레티클 포드는 포트 연결을 로드합니다.

• 레티클 포드 ID 확인 및 레티클 포드 슬롯 맵 확인.

 

하위 표준:

SEMI E109.1-1110 - 레티클 및 포드 관리(RPMS)를 위한 SECS-II 프로토콜 사양

참조된 SEMI 표준

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E99 — 캐리어 ID 리더/라이터 사양
SEMI E100 — 6인치 또는 230mm 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 레티클 Smif 포드(RSP) 사양

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