SEMI E101 - EFEM 기능 구조 모델 가이드 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

생산성 향상은 300mm 세대 반도체 공장에서 최우선 과제이며 이를 달성하기 위해 CIM/FA(Computer Integrated Manufacturing or Factory Automation) 기술이 점점 더 중요해지고 있다. CIM/FA 인프라를 단기간에 저렴한 비용으로 제공하기 위해서는 이들 기술의 표준화도 필요하다. 표준은 광범위한 생산 장비, 통신 하드웨어 및 소프트웨어 도구를 다루어야 하므로 표준이 높은 수준의 호환성을 갖는 것이 매우 중요합니다. 호환성을 향상시키기 위해 본 가이드에서는 공장 자재 취급 시스템과 공정 장비 사이의 인터페이스에서 캐리어 및 기판을 처리하는 장비 프런트 엔드 모듈(EFEM)의 기능적 구조 모델을 제공합니다.

이 가이드의 주요 목적은 다음과 같습니다.

1.   EFEM의 기능 및 기능 요소(특정 기능 역할이 있는 구성 요소) 간의 관련 인터페이스에 대한 일반적인 이해를 제공합니다.

2.   EFEM에서 기능의 계층적 구조와 해당 인터페이스에 대한 일반적인 이해를 제공합니다.

삼.   유지 보수, 조정 및 제어에 사용되는 가능한 단위에 대한 일반적인 이해를 제공합니다.

4.   EFEM 기능 요소와 기존 표준 간의 맵을 제공합니다.

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양

SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)

SEMI E23 — 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양

SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양

SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양

SEMI E64 — SEMI E15.1 도킹 인터페이스 포트에 대한 300mm 카트 사양

SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양

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