SEMI E107 - 수율 관리 시스템을 위한 전기 고장 링크 데이터 형식 사양 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2010년 5월 21일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2010년 6월 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2001년 3월에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2001년 11월.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서의 목적은 테스트 장비에서 수율 관리 시스템으로 전달되는 특정 데이터 형식을 표준화하는 것입니다. Yield Management System은 이 문서의 용어 섹션에서 설명하는 웨이퍼 패턴의 세부 테스트 데이터 및 기하학적 결함 데이터를 위한 일종의 데이터 서버입니다.

이 문서는 테스트 장비의 전기적 고장 정보를 통합적으로 관리하고 분석하는 수율 관리 시스템을 가정합니다. 테스트 장비 고장 정보의 예로는 비트맵 데이터, 빈 데이터, 웨이퍼 검사 장비 및 검토 도구와 같은 장치에서 얻은 검사 정보가 있습니다. 데이터 파일 형식의 표준화는 고객 및 관련 공급업체의 개발 부담을 줄이는 데 도움이 됩니다.

이 문서는 테스트 장비에서 수율 관리 시스템으로 전송하기 위한 데이터 파일 형식을 지정합니다.

이 문서는 일반 지도 데이터 항목 표준의 확장입니다. 즉, SEMI G81 및 현재 개발 중인 일반 지도 데이터 형식 문서입니다. 이 문서는 일반 사양을 재정의하지 않습니다.

이 문서의 범위는 데이터 항목과 해당 형식을 정의하는 것입니다. 데이터 파일 생성 방법, 데이터 생성 환경 및 파일 명명 규칙은 이 문서의 범위를 벗어납니다. 또한 데이터를 전송하기 위한 통신 프로토콜은 이 문서의 범위를 벗어납니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30.1 — 특정 장비 모델 검사 및 검토(ISEM)
SEMI G81 — 지도 데이터 항목 사양
SEMI G85 — 지도 데이터 형식 사양

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