SEMI E114 - 반도체 처리 장비 RF 전력 공급 시스템에 사용되는 RF 케이블 어셈블리에 대한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 글로벌 메트릭스 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2009년 1월 2일에 글로벌 감사 및 리뷰 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2009년 2월에 www.semi.org에서 사용할 수 있었습니다. 원래는 2002년 6월에 출판되었습니다.

E 이 문서는 2002년 5월에 편집상 수정되었습니다. ¶ 1.1이 변경되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 처리 장비용 RF 전원 공급 시스템에 사용되는 RF 케이블 어셈블리의 전기적 길이, 전력 손실 및 특성 임피던스 변동을 결정하는 데 사용되는 테스트 방법을 정의하는 것입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E113 — 반도체 처리 장비 RF 전력 공급 시스템 사양

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