SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

E12400 - SEMI E124 - 전체 공장 효율성(OFE) 및 기타 관련 공장 수준 생산성 메트릭의 정의 및 계산을 위한 가이드
E12500 - SEMI E125 - 장비 자체 설명(EqSD) 사양
SEMI E125 - 장비 자체 설명(EqSD) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E12600 - SEMI E126 - 장비 품질 정보 매개변수(EQIP) 사양
SEMI E126 - 장비 품질 정보 매개변수(EQIP) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E12700 - SEMI E127 - 통합 측정 모듈 통신 사양: IMMC(개념, 동작 및 서비스)
SEMI E127 - 통합 측정 모듈 통신 사양: IMMC(개념, 동작 및 서비스) 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E12800 - SEMI E128 - XML ​​메시지 구조 사양
SEMI E128 - XML ​​메시지 구조 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E12900 - SEMI E129 - 반도체 제조 시설의 정전기 전하 평가 및 제어 가이드
SEMI E129 - 반도체 제조 시설의 정전기 전하 평가 및 제어 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E13000 - SEMI E130 - 300mm 환경용 프로버 특정 장비 모델 사양(PSEM300)
SEMI E130 - 300mm 환경용 프로버 특정 장비 모델 사양(PSEM300) 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E13100 - SEMI E131 - Bolts-M을 사용하는 300mm 도구에 대한 통합 측정 모듈(IMM)의 물리적 인터페이스 사양
E13200 - SEMI E132 - 장비 클라이언트 인증 및 승인 사양
SEMI E132 - 장비 클라이언트 인증 및 승인 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E13300 - SEMI E133 - 자동 공정 제어 시스템 인터페이스 사양
SEMI E133 - 자동 공정 제어 시스템 인터페이스 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E13400 - SEMI E134 - 데이터 수집 관리 사양
SEMI E134 - 데이터 수집 관리 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E13500 - SEMI E135 - 반도체 공정 장비에 사용되는 RF 전원 전달 시스템의 과도 응답을 결정하기 위한 RF 발생기 테스트 방법
E13600 - SEMI E136 - 반도체 처리 장비 RF 전력 공급 시스템에 사용되는 RF 발생기의 출력 전력 결정을 위한 테스트 방법
E13700 - SEMI E137 - 반도체 제조 장비의 최종 조립, 포장, 운송, 포장 풀기 및 재배치 가이드
E13800 - SEMI E138 - XML ​​반도체 공통 부품 사양
SEMI E138 - XML ​​반도체 공통 부품 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
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