SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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E11500 - SEMI E115 - 반도체 처리 장비 RF 전력 전달 시스템에 사용되는 정합 네트워크의 부하 임피던스 및 효율성을 결정하기 위한 테스트 방법
E11600 - SEMI E116 - 장비 성능 추적 사양
SEMI E116 - 장비 성능 추적 사양 할인 가격Member Price: ₩225
Non-Member Price: ₩571,000
E11700 - SEMI E117 - 레티클 로드 포트 사양
SEMI E117 - 레티클 로드 포트 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E11800 - SEMI E118 - 웨이퍼 ID 판독기 통신 인터페이스 사양 - 웨이퍼 ID 판독기 기능 표준: 개념, 동작 및 서비스
E11900 - SEMI E119 - 300mm 웨이퍼의 공장 간 운송을 위한 감소된 피치 전면 개방 박스의 기계적 사양
E12000 - SEMI E120 - 공통 장비 모델(CEM) 사양
SEMI E120 - 공통 장비 모델(CEM) 사양 할인 가격 Member Price : ₩113
E12100 - SEMI E121 - 반도체 제조 애플리케이션을 위한 XML의 스타일 및 사용에 대한 가이드
E12200 - SEMI E122 - TSEM(테스터 장비 특정 장비 모델) 사양
SEMI E122 - TSEM(테스터 장비 특정 장비 모델) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E12300 - SEMI E123 - 핸들러 장비 특정 장비 모델(HSEM) 사양
SEMI E123 - 핸들러 장비 특정 장비 모델(HSEM) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E12400 - SEMI E124 - 전체 공장 효율성(OFE) 및 기타 관련 공장 수준 생산성 메트릭의 정의 및 계산을 위한 가이드
E12500 - SEMI E125 - 장비 자체 설명(EqSD) 사양
SEMI E125 - 장비 자체 설명(EqSD) 사양 할인 가격 Member Price : ₩113
E12600 - SEMI E126 - 장비 품질 정보 매개변수(EQIP) 사양
SEMI E126 - 장비 품질 정보 매개변수(EQIP) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E12700 - SEMI E127 - 통합 측정 모듈 통신 사양: IMMC(개념, 동작 및 서비스)
SEMI E127 - 통합 측정 모듈 통신 사양: IMMC(개념, 동작 및 서비스) 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E12800 - SEMI E128 - XML ​​메시지 구조 사양
SEMI E128 - XML ​​메시지 구조 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E12900 - SEMI E129 - 반도체 제조 시설의 정전기 전하 평가 및 제어 가이드
SEMI E129 - 반도체 제조 시설의 정전기 전하 평가 및 제어 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
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