SEMI E119 - 300mm 웨이퍼의 공장 간 운송을 위한 감소된 피치 전면 개방 박스의 기계적 사양 -

Abstract

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이 표준은 300mm 웨이퍼(FOBIT)의 공장 간 운송을 위한 감소된 피치 전면 개방 상자를 부분적으로 지정합니다. 25개 웨이퍼 용량과 13개 웨이퍼 FOUP의 대략적인 물리적 부피를 가진 이 감소된 피치 박스는 IC 제조 현장 간에 웨이퍼를 운송하는 비용을 줄이기 위한 것입니다. 현재 업계의 300mm 기술을 활용하기 위해 이 감소된 피치의 전면 개방 상자는 SEMI E62에 지정된 대로 13개의 웨이퍼 FIMS와 인터페이스하기 위한 것입니다.

이 표준은 모든 기계적 인터페이스에서 모듈성과 호환성을 보장하면서 혁신에 대한 최소한의 제한을 두는 적절한 수준의 사양을 설정하기 위한 것입니다. FOBIT에 대한 물리적 인터페이스만 지정됩니다. 재료 요구 사항이나 미세 오염 한계는 제공되지 않습니다. 그러나 이 표준은 금속 및 사출 성형 플라스틱 FOBIT 모두에 따라 제조될 수 있도록 작성되었습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양

SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송하고 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드의 기계적 사양

SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양

SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양

SEMI M31 — 300mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자의 기계적 사양

SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인

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