SEMI E126 - 장비 품질 정보 매개변수(EQIP) 사양 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 12월 13일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 5월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2003년 7월에 출판되었습니다. 이전에 2013년 6월에 게시되었습니다.

이 표준은 장비 프로세스 유형 또는 그룹에 대한 주요 장비 품질 정보 매개변수 또는 EQIP를 식별합니다. 이러한 품질 매개변수의 식별은 장비 사용자와 공급업체가 프로세스 제어 기능을 지정하고 활용하는 데 도움이 되도록 하기 위한 것입니다.

이 표준은 EQIP가 이 표준에서 신규 및/또는 기존 장비 공정 유형에 대해 식별됨에 따라 업데이트되도록 설계되었습니다.

대상 독자 - 이 표준은 프로세스 제어 매개변수의 작동을 위한 표준화된 방법을 활용하여 선택된 프로세스 품질 매개변수의 장비 및 프로세스 제어를 달성해야 하는 OEM, 사용자 및 제3자 장비 및 프로세스 제어 시스템 공급업체가 사용하기 위한 것입니다.

이 표준의 범위는 장비가 이러한 각 EQIP에 영향을 미치는 설정 가능한 프로세스 프로그램 매개변수의 null이 아닌 목록을 표시하도록 지정하고 장비가 SEMI 표준 방법을 사용하는 각 매개변수. 표준은 모든 품질 매개변수를 식별하기 위한 것이 아닙니다. 완전한 장비 유형 세트를 지정하기 위한 것은 아닙니다.

이 표준은 주요 EQIP에 영향을 미치는 프로세스 프로그램 매개변수의 작동을 위한 기능이 존재해야 한다고 요구하지만 표준은 이 작동이 발생하는 방법을 지정하지 않습니다. 예를 들어, 작동을 위한 통신 프로토콜이나 이 작동 기능을 지원하고 활성화할 장비 또는 호스트 모델을 정의하지 않습니다. 범위는 주요 EQIP 정의 및 프로세스 프로그램 매개변수에 대한 링크로 제한됩니다.

표준은 장비 유형에 대한 EQIP가 기존 세트에 추가될 수 있도록 구성되어 커뮤니티가 이러한 추가 사항에 대해 합의에 도달했습니다. 또한 EQIP는 이 표준에서 이전에 다루지 않은 새로운 장비 유형에 대해 정의될 수 있습니다. 표준에 대한 추가 사항은 SEMI 표준 투표 프로세스를 활용하여 이루어집니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양
SEMI E40 — 공정 관리 표준
SEMI E94 — 제어 작업 관리 사양
SEMI E98 — 개체 기반 장비 모델(OBEM)에 대한 임시 표준

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