SEMI E124 - 전체 공장 효율성(OFE) 및 기타 관련 공장 수준 생산성 메트릭의 정의 및 계산을 위한 가이드 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

 

이 가이드는 공장이 얼마나 잘 운영될 수 있는지(주어진 제품 조합에 대해)와 비교하여 공장이 얼마나 잘 운영되고 있는지를 보여주는 지표를 설명합니다. 이러한 지표는 좋은 운영 결정에 대한 보상을 제공하고 불리하게 조작하기 쉽지 않은 방식으로 공장 성능(부가가치 생산)을 추적하는 데 사용할 수 있습니다. 메트릭은 반도체 제조 조직의 모든 수준에서 볼 수 있는 지속적인 개선 프로세스에서 사용할 수 있습니다.

 

이 가이드의 메트릭은 공장이 설계 또는 재설계되는 동안의 용량 분석이 아니라 공장이 생산된 후 공장 생산의 상대적 효율성을 평가하기 위한 것입니다. 그러나 이러한 메트릭 중 일부는 장비 세트 및 일정 정책을 선택하기 위해 공장 시뮬레이션에서 사용할 수 있습니다.

공장의 전반적인 효율성을 평가하기 위해서는 생산, 자산 활용 및 비용의 세 가지 측정이 필요합니다. 이 가이드는 생산 평가에 중점을 둡니다. 자산 및 비용(및 기타 경제적 요인)의 활용은 범위를 벗어납니다.

 

이 가이드는 전체 통합 생산 라인에 대한 메트릭을 설명합니다(예를 들어, 로트가 떠나지 않고 생산 라인으로 돌아올 수 있음). 동일한 공장의 여러 생산 라인은 리소스(예: 자재 취급 또는 생산 장비)를 공유하지 않는 경우 별도로 평가할 수 있습니다.

 

참조된 SEMI 표준
SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성, 유지보수성(RAM) 및 활용도의 정의 및 측정을 위한 사양

SEMI E35 — 반도체 제조 장비의 소유 비용(COO) 메트릭 계산 가이드

SEMI E58 — ARAMS(Automated Reliability, Availability, and Maintenanceability Standard): 개념, 동작 및 서비스

SEMI E79 — 장비 생산성의 정의 및 측정을 위한 사양 SEMI E116 — 장비 성능 추적 사양

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