SEMI E116 - 장비 성능 추적 사양 -

Abstract

알림: SEMI E116의 명칭은 SEMI E116.1의 개정판을 반영하기 위해 0518 게시 주기 동안 업데이트되었습니다. 이 문서는 변경되지 않았습니다.

이 문서는 생산 장비에 대한 기본 장비 성능 추적(EPT)을 구현하기 위한 사양을 제공합니다. 이 문서의 조항을 통해 호스트 컴퓨터는 운영자나 호스트 입력 없이 자동화되고 일관된 문제에서 기본 장비 성능을 추적할 수 있습니다. 이 문서는 장비 공급업체에 다음과 같은 사양을 제공합니다.

• 기본 장비 상태를 추적합니다(운영자 또는 호스트 입력 필요 없음).
• 주요 모듈과 전체 장비 모두에 대해 모듈 방식으로 기본 장비 상태를 추적합니다.
• 모듈 및 장비 수준 모두에서 기본 장비 상태 변경 사항을 호스트 컴퓨터에 보고합니다.
• 모듈 및 장비 수준 모두에서 장비의 상태 시간을 호스트 컴퓨터에 보고합니다.
• 모듈 및 장비 수준 모두에서 장비가 해당 작업을 수행하지 못하도록 차단된 이유를 호스트 컴퓨터에 보고합니다.

장비 사용자는 사용자 입력에 의존하지 않고 장비 성능을 추적하여 사용자의 부정확하거나 시기 적절한 입력으로 인한 부정확성을 제거할 수 있는 기능이 필요합니다. 사용자 입력 없이 장비 성능을 추적하는 기능은 운영 시나리오에서 최소한의 수동 상호 작용이 필요한 300mm 웨이퍼 공장에서 필수적입니다. EPT는 호스트 컴퓨터가 운영자 또는 호스트 입력 없이 자동화되고 일관된 문제로 장비 성능 추적에 필요한 장비 데이터를 얻을 수 있도록 하는 개념, 동작 및 메시지 서비스를 정의합니다.

EPT를 사용하면 공장 관리자가 사용자 입력에 의존하지 않고 장비 수준과 모듈 수준(예: 처리 챔버) 모두에서 공장 장비의 현재 상태를 식별할 수 있습니다. EPT를 통해 공장 엔지니어는 장비와 모듈이 서로 다른 상태에서 소요된 시간을 평가하고 개선이 필요한 영역을 식별할 수 있습니다. EPT를 사용하면 공장 엔지니어가 장비 또는 모듈이 수행되지 않는 이유를 장비에서 직접 얻을 수 있습니다. EPT는 산업 엔지니어에게 MES(Manufacturing Execution System)의 외부 데이터와 결합될 때 장비 수준 및 모듈 수준에서 SEMI E10 상태 및 SEMI E79 메트릭을 정확하게 계산할 수 있는 장비 데이터를 제공합니다. EPT를 통해 자동화 엔지니어는 장비 상태 데이터를 수집하기 위해 표준화된 수집 이벤트 및 데이터 변수를 사용하여 재사용 가능한 호스트 인터페이스를 개발할 수 있습니다.

이 표준의 범위는 생산 장비에 대한 기본 장비 성능을 추적하는 데 필요한 장비 동작 상태 및 데이터를 정의하는 것입니다. 이러한 요구 사항은 장비 수준 및 모듈 수준 상태 추적을 용이하게 하고 호스트 또는 운영자 입력 없이 간단한 장비 성능 추적을 위해 상태 정보를 호스트에 전달하기 위한 것입니다.

특히 이 문서는 다음을 제공합니다.

• 상태 변경에 대한 트리거를 정의하는 EPT 상태 모델입니다.
• 기본 장비 성능 데이터를 호스트 컴퓨터와 통신하는 데 필요한 데이터 변수 지정.
• 기본 장비 성능 데이터를 호스트 컴퓨터에 전달하는 데 사용되는 이벤트 메시지 사양.
• EPT 준수 요건.

이 표준은 운영자 또는 호스트 입력 없이 자동화되고 일관된 방식으로 장비 성능 추적에 필요한 장비 데이터를 호스트 컴퓨터가 얻을 수 있도록 하는 개념, 동작 및 메시지 서비스를 지정합니다. 이 정보는 사용자 입력이 필요하고 이미 SEMI E58에 지정되어 있기 때문에 장비에서 호스트 컴퓨터로의 SEMI E10 상태 보고서를 지정하지 않습니다.

이 표준은 SEMI E58과 충돌하지 않으며 SEMI E58을 통해 SEMI E10 상태를 보고하는 장비의 기능을 금지하지도 않습니다.

이 표준은 운영자 또는 호스트 입력에 의존하지 않고 SEMI E10 및 SEMI E79 메트릭에 필요한 정확한 장비 정보를 제공하여 SEMI E10 및 SEMI E79를 위한 빌딩 블록이며, 사용자의 부정확하거나 시기 적절한 입력으로 인한 부정확성을 제거합니다. EPT는 장비 성능 추적에 대한 모듈식 접근 방식을 제공하여 SEMI E10 및 SEMI E79를 모두 지원하므로 장비의 상태가 주요 모듈의 상태에 따라 결정될 수 있습니다. EPT는 장비 또는 모듈의 현재 활동에 대한 작업 수준 세부 정보를 제공하여 SEMI E79를 지원하므로 작업 수준에서 성능 지표를 추적할 수 있습니다.

하위 표준(포함):

SEMI E116.1-0707(재승인 0518) - 장비 성능 추적(EPT)을 위한 SECS-II 프로토콜 사양

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성, 유지보수성(RAM) 및 활용도의 정의 및 측정을 위한 사양
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양

SEMI E58 — ARAMS(Automated Reliability, Availability, and Maintenanceability Standard): 개념, 동작 및 서비스
SEMI E79 — 장비 생산성의 정의 및 측정을 위한 사양
SEMI E90 — 기판 추적 사양
SEMI E98 — 개체 기반 장비 모델(OBEM)에 대한 임시 표준
SEMI E101 — EFEM 기능 구조 모델 가이드

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